測量顯微鏡是作為的金相顯微鏡在使用。分為大型工具顯微鏡和小型工作顯微鏡，使用其進行測定，常用的測定方法有四種，分別是直角坐標(biāo)測定、角度測定、高度測定和孔徑測定。
1、測量顯微鏡大型工具顯微鏡。
它的回轉(zhuǎn)工作臺是采裝配式，亦由密十字形移動臺和觀測顯微鏡制成的，穿透照明設(shè)備是采用離心照明，支柱和工作臺體成型可以左右傾斜，螺紋測定便捷。眼觀測部裝有投影裝置，可從事投影像之觀測。
2、小型工具顯微鏡。
它是由密十字移動工作臺及觀測顯微鏡構(gòu)成的，是屬于小型工具顯微鏡，設(shè)計時是以容易使用為主，所以支柱不會傾斜，照明設(shè)備亦采簡易型，雖然容易但和許多附屬品相連接后，能夠增加各種測定工作。
測量顯微鏡的般測定的方法是什么呢?
1、直角坐標(biāo)測定：
測定時須使測定物的直角坐標(biāo)方向和十字形工作臺的移動方向致時方可進行測定。采用直角坐標(biāo)測定時由十字移動工作臺的移動量可直接讀取直角坐標(biāo)值，若是大型工具顯微鏡，使用瞄準(zhǔn)孔直角坐標(biāo)測定上的像連接觀測眼即可正確測定，而在進行測定物直角坐標(biāo)方向和十字移動工作臺之校正時，使用裝設(shè)在大型工具顯微鏡上的裝配式旋轉(zhuǎn)工作臺方便，于小型工具顯微鏡只要旋轉(zhuǎn)臺附件即可。
2、角度測定：
使用旋轉(zhuǎn)工作臺或角度觀測透鏡即可測定。般而言角度觀測透鏡的度較。
3、高度測定：
雖然小型工具顯微鏡無法測定高度，但是若把量銀裝在支柱的上端，然后利用顯微鏡的上下移動量可測定高度了。然而，由于焦點深度，支柱傾度及量銀和光軸間等因素誤差，欲正確測定相當(dāng)困難。
4、
測量顯微鏡孔徑測定：
般是使用角度觀測透鏡測定，但大型工具顯微鏡則可使用重疊影象觀測透鏡或者光學(xué)探測子，是使用重疊影象透鏡，使生成的兩種像重疊，接著在相對的方亦然，于是由移動量即可顯示孔的內(nèi)徑。假若是使用光學(xué)探測器，則先將它裝設(shè)在3倍的對物透鏡上，然后對準(zhǔn)探測子和工作臺的移動方向，再調(diào)整觀測鏡內(nèi)之重疊線平行于觀測透鏡的十字線，而使測定子接觸孔穴面。后利用Y軸上的進給校正重疊線的逆向移動，并用X軸進給使重疊線夾住觀測透鏡的十子線，即可讀取X軸上的測定值。相對側(cè)的孔穴亦然，故有讀取的差值再加上探測子的直徑即可獲得孔穴內(nèi)徑。
工具顯微鏡的測量對象是什么呢?
1.測量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀。
2.測量外螺紋(螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等)的中徑、小徑、螺距、牙型半角。
3.測量齒輪滾刀的導(dǎo)程、齒形和牙型角。
4.測量電路板、鉆模或孔板上的孔的位置，鍵槽的對稱度等形位誤差。
